中圖儀器廣東光學(xué)輪廓儀用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的光學(xué)檢測儀器�？蓮V泛應(yīng)用于微機(jī)電、為納米材料、光學(xué)加工、超精密加工、3C電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測量和分析。
中圖儀器廣東光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理，利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成，是一種用于對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維檢測的精密儀器，它的特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級的檢測精度。操作過程只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設(shè)好視場參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測量。
數(shù)秒內(nèi)，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹” 這句話用來形容中圖儀器在超精密加工顯微測量場景中發(fā)揮的作用恰如其分。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調(diào)整：±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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