詳細(xì)信息
此款全自動(dòng)清洗機(jī)適用于晶圓、QFN、玻璃和陶瓷切割后的清洗設(shè)備,此系列共有高壓水和二流體兩種清洗方案。采用人性化的全彩色觸摸屏作為操作界面,令整機(jī)更為易用,無(wú)需培訓(xùn)就可立即上手操作。
主要功能:
■提供高壓水和二流體兩種清洗方案供分開(kāi)或組合選擇。
■適用于藍(lán)膜、UV 膜、PET 襯底膜和雙層膜。
■主軸采用用于航空的磁流體密封技術(shù),性能安全、可靠。
■采用離心式自動(dòng)抓緊鎖扣或提供不超過(guò)兩個(gè)需人工干預(yù)的重物件夾緊結(jié)構(gòu)。
■配備5.7 英寸全彩色觸摸屏,集成顯示相關(guān)信息和功能操作。
■一鍵式全自動(dòng)執(zhí)行清洗和吹干動(dòng)作,整個(gè)過(guò)程無(wú)需人工干預(yù)。
◆ 高壓水和二流體兩種清洗方案:
除提供傳統(tǒng)高壓水的清洗方案外,還提供采用二流體的清洗方案,在保證清洗效果的同時(shí)也減少
了對(duì)芯片的損害。
可獨(dú)立選擇機(jī)器采用高壓水(A)或二流體(B)的清洗方式,也可以選擇雙擺臂的組合(AB)方式。
◆ 磁流體密封技術(shù)的主軸:
采用了應(yīng)用于航天工程的磁流體密封技術(shù)的主軸,保證真空吸附的真空度,保證工作件不會(huì)因真空
泄漏而脫離旋轉(zhuǎn)臺(tái)盤(pán),從而損壞工作件。
由于是采用液體密封技術(shù),大大提高了主軸的壽命,令主軸更安全,更可靠。
◆ 配備5.7 英吋全彩色觸摸屏:
人性化的觸摸屏界面,集成了所有的參數(shù)設(shè)計(jì)和功能操作;并提供信息和錯(cuò)誤顯示,讓所有操作和
信息一目了然。


